从最新的晶片设计到陶瓷元件,再到中间的一切。有了13毫米的切割深度,NanoAce 3300就可以达到所有的切割要求。适应不用工作的负载,快速变更工具、程序栏目。
应用 | 硅片、硅片复合材料, 玻璃, MEM 结构, 陶瓷, 光电部件 | |
工作范围 | 高 | 60mm |
长 | 300mm | |
宽 | 300mm | |
刀片 |
2”, 3” 50,76mm |
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卡盘类型 | 真空陶瓷或真空金属、无胶带夹具、机械虎钳、磁性虎钳 | |
主轴 | 2.4kw 60,000rpm/min | |
Z轴分辨率 | 0.0001 mm | |
θ | 360°(持续旋转) |